機械設計 2022年2月号

著者名：日刊工業新聞社

日刊工業新聞社（2022/01発売）

内容説明

真空システムでは、真空中あるいは真空排気後の導入気体中において所望の作業を安全に実行できるように、高品質な環境空間を迅速かつ安定に提供しなければなりません。ただし、真空を使ったモノづくりやモノの観察における本丸は、その空間にあるのではなく、真空表面にあります。真空システムで真空に面しているさまざまな固体表面から不純物をしっかり減らしたうえで、基板・ターゲット・試料などの表面に対して、作業粒子である気体分子・イオン・電子・プラズマ粒子をどのように作用させるかで、つくったモノの出来不出来や観察の良し悪しが決まります。
本特集では、より良い真空表面をどうやって実現するか、より速くより良質の真空にするにはどうすべきか、どうすればトラブルや事故を避けられるか、真空技術の基礎も含め、現場目線で秘訣を紹介します。