内容説明
半導体デバイスにとって信頼性は重要なテーマである。わが国の半導体産業は短期間に大きな飛躍を遂げたが、その要因はデバイスの品質の良さにあったといっても過言ではない。これはプロセス・評価技術がしっかりしていたためといえる。本書はこの評価技術の全貌を著者の経験を交えて、初めての人でも十分理解できるようにまとめた実務書である。
目次
第1章 半導体デバイスの特徴
第2章 デバイス評価技術概要
第3章 信頼性試験
第4章 故障解析
第5章 寿命データ解析
第6章 具体例・応用事例
半導体デバイスにとって信頼性は重要なテーマである。わが国の半導体産業は短期間に大きな飛躍を遂げたが、その要因はデバイスの品質の良さにあったといっても過言ではない。これはプロセス・評価技術がしっかりしていたためといえる。本書はこの評価技術の全貌を著者の経験を交えて、初めての人でも十分理解できるようにまとめた実務書である。
第1章 半導体デバイスの特徴
第2章 デバイス評価技術概要
第3章 信頼性試験
第4章 故障解析
第5章 寿命データ解析
第6章 具体例・応用事例