内容説明
電子・電気製品の開発が進む現在、半導体需要が旺盛で製造工程で使用する装置・検査機器・治具の需要も高まっており、部品サプライヤーは、加工精度の向上や合理化などに取り組んでいる。特集では、半導体製造の流れや半導体製造装置の基本を確認したうえで、その部品の加工に必要な特殊材料や精密・微細形状の加工について解説。半導体製造装置部品の加工向け工作機械の機能や運用事例、加工現場の取組みも取り上げる。
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