Design for Manufacturability with Advanced Lithography

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Design for Manufacturability with Advanced Lithography

Yu, Bei/ Pan, David Z.

ウェブストア価格 ¥12,387（本体¥11,261）
Springer International Publishing AG（2016/08発売）
外貨定価 US$ 54.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 164 p.
言語 ENG
商品コード 9783319373935

Full Description

This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL).