ＶＬＳＩとＣＶＤ―半導体デバイスへのＣＶＤ技術の応用

ＶＬＳＩとＣＶＤ―半導体デバイスへのＣＶＤ技術の応用

  • ただいまウェブストアではご注文を受け付けておりません。
  • サイズ A5判／ページ数 396p／高さ 22cm
  • 商品コード 9784837506454
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3055

目次

１章　ＣＶＤとシリコンデバイス
２章　ＣＶＤ技術概論
３章　ＣＶＤによる膜形成法
４章　ＣＶＤ膜形成用原料化合物
５章　ＣＶＤ膜形成反応の制御
６章　ＣＶＤ膜形成各論
７章　ＣＶＤ膜の評価技術
８章　ＣＶＤ膜の応用
９章　ＣＶＤ装置
１０章　ＣＶＤ技術の将来展望

最近チェックした商品

Spiritual Path of the Future
  • 洋書
Spiritual Path of t…
PAYS BASQUE GUIDE PETAOUCHNOK - PRENEZ LA POUDRE D'ESPELETTE ! (EN FRANCE ET EN ESPAGNE) (GUIDES PETAOUCH)
  • 洋書
PAYS BASQUE GUIDE P…
湖畔荘 〈上〉
  • 和書
湖畔荘 〈上〉
世界の名作 〈３〉 ファーブル昆虫記 ジャン・アンリ・ファーブル
  • 和書
世界の名作 〈３〉 ファーブル昆虫記 …
教育の発展のために - 福岡県の高校教育現場からの一提言
  • 和書
教育の発展のために - 福岡県の高校教…