内容説明
本書では、平成１４，１５年度に（財）マイクロマシンセンターに設けられた「マイクロマシンの長期ビジョンに関する調査研究部会」における将来展望の議論を踏まえ、これにマイクロマシン産業化のこれまでの展開や、マイクロマシン技術の現状と展望、ナノ技術への展開を含めて、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説している。
目次
第１章 マイクロマシンとは（なぜ今マイクロマシン；マイクロマシン技術の特徴 ほか）
第２章 マイクロマシンの技術の現状と展望（基盤技術；ＭＥＭＳ・デバイス技術 ほか）
第３章 ナノテクノロジーとの融合―ナノテクノロジー材料はマイクロマシンと融合して製品になる（マイクロマシンの現状―立体幾何学的構造が機能を生むマイクロマシン；マイクロ・ナノ融合技術 ほか）
第４章 応用分野の将来展望（ナノバイオ；健康・医療・福祉 ほか）
第５章 産業化への課題（ＭＥＭＳの市場特性；ＭＥＭＳの産業の課題 ほか）
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- 若冲 文春文庫
