スパッタ薄膜―基礎と応用

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  • サイズ A5判/ページ数 172,/高さ 21cm
  • 商品コード 9784526032738
  • NDC分類 549
  • Cコード C3054

出版社内容情報

薄膜製造技術で注目される低気圧希ガス放電を用いてスパッタ法の手順と物理を解説.◆項目 スパッタ薄膜とは/気体の性質/低気圧放電現象/スパッタ装置の概要/薄膜の成長過程と特性/応用など.

目次

1章 スパッタ薄膜とは?―他の薄膜技術との違いと応用のあらまし
2章 気体の性質
3章 低気圧放電現象
4章 スパッタ装置
5章 薄膜の成長過程と特性
6章 応用

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