クリーンルーム環境の計画と設計 (第3版)

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  • サイズ B5判/ページ数 234p/高さ 26cm
  • 商品コード 9784274214868
  • NDC分類 528.2
  • Cコード C3052

目次

1章 概論
2章 空気清浄化システム
3章 クリーンルーム計画
4章 バイオロジカルクリーンルームの計画とハザード施設
5章 クリーンルーム気流と汚染のシミュレーション
6章 クリーンルームの設計
7章 クリーンルームの設備
8章 クリーンルームの環境測定
9章 クリーンルームの設計例
「エネルギー換算係数」による省エネルギー対策

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