Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting (Springer Theses)

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Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting (Springer Theses)

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 122 p.
  • 言語 ENG
  • 商品コード 9783662488140

Full Description

This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials.

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