Plasma Chemistry III (Topics in Current Chemistry .94) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1980. 2013. iv, 132 S. IV, 1）

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Plasma Chemistry III (Topics in Current Chemistry .94) （Softcover reprint of the original 1st ed. 1980. 2013. iv, 132 S. IV, 1）

Herausgegeben von Veprek, S./ Venugopalan, M.

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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
言語 ENG
商品コード 9783662159729

Description

(Table of content)
Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.

Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.