Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets (Springer Theses)

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Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets (Springer Theses)

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 164 p.
  • 商品コード 9783319666068

Full Description

This thesis describes the fabrication of metal-insulator-semiconductor (MIS) structures using very high permittivity dielectrics (based on rare earths) grown by high-pressure sputtering from metallic targets.

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