Plasma Charging Damage

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Plasma Charging Damage

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  • 製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 346 p.
  • 言語 ENG
  • 商品コード 9781447110620
  • DDC分類 670

Full Description

In the 50 years since the invention of transistor, silicon integrated circuit (IC) technology has made astonishing advances. In state of the art silicon Ie manufacturing process, plasma is used in more than 20 different critical steps.

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