MEMS入門 Introductory MEMS : Fabrication and Applications （2010. XV, 444 S. 25 SW-Abb., 25 Farbabb., 20 Tabellen. 235 mm）

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MEMS入門<br>Introductory MEMS : Fabrication and Applications （2010. XV, 444 S. 25 SW-Abb., 25 Farbabb., 20 Tabellen. 235 mm）

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MEMS入門
Introductory MEMS : Fabrication and Applications （2010. XV, 444 S. 25 SW-Abb., 25 Farbabb., 20 Tabellen. 235 mm）

Adams, Thomas M./ Layton, Richard A.

ウェブストア価格 ¥24,004（本体¥21,822）
SPRINGER, BERLIN（2010発売）
外貨定価 US$ 109.99
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製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 550 p.
言語 ENG
商品コード 9780387095103

基本説明

One of the first texts written that is accessible to undergraduate technical majors regardless of specific discipline. Describes sensors, actuators, and microfluidics, and their relationship with MEMS.

Full Description

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques.