出版社内容情報
編集委員
岸野正剛 姫路工業大学
執筆者
岸野正剛 姫路工業大学
山部紀久夫 東芝
杉浦順 日立製作所
千川圭吾 信州大学
篠山誠二 新日本製鉄
堀岡佑吉 三菱マテリアルシリコン
阿部孝夫 信越半導体
高須新一郎 SEMI
滝口蓮一、永井秀幸、甲斐文隆 九州小松電子
増田健二 大阪チタニウム
岸野正剛 姫路工業大学
鈴木誉也 日立製作所
清水博文 日立製作所
津屋英樹 日本電気
岸野正剛 姫路工業大学
大橋弘通、吉見信 東芝
堀江浩、角田成夫 大阪チタニウム
原明人、大澤昭 富士通研究所
清水博文 日立製作所
井上靖朗 三菱電機
宮崎守正 大阪チタニウム
丹生博彦 姫路工業大学
佐平健彰、喜田道夫、新井義明、小野直樹 三菱マテリアル
阿部孝夫 信越半導体
小嶋正康 東京精密
本田勝男 東京精密
阿部孝夫 信越半導体
鈴木誉也 日立製作所
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☆目次
第1章 Si結晶の優位性