出版社内容情報
ガス事故撲滅と環境安全を希求する業界共有の実践指針！
半導体主要各社の全面的協力により実現した、直近10年間のガス事故53事例の詳細報告と対策技術 の提示。災害ポテンシャルを根本から掘り起こす、21世紀半導体産業の貴重な羅針盤！
【内容目次】
第1部 半導体工場ガス事故の実態と対策
■事故事例の編集方針と着眼点（編集委員会）
■特殊ガス事故全５３事例
共通記載項目／１．事故件名、２．発生日、３．事故概要、４．事故原因、５．事故対策
事故発生エリア１－シリンダーキャビネットから製造装置
１－１ シリンダーキャビネット内
事例１ シリンダーキャビネット内でのモノシラン爆発
事例２ モノシランガスのシリンダーキャビネット内での爆発
事例３ シリンダーキャビネットのモノシラン容器が爆発
事例４ 容器交換時に使用中の継ぎ手を緩め火災
事例５ SiH4,NH3,N20の混合
事例６ シリンダー交換時に4%アルシンガスがシリンダー充填口からリーク
事例７ シリンダー充填口と減圧弁のジョイント部でシランが漏れ発火
事例８ シリンダーキャビネット内でのC12ガス漏洩
事例９ シリンダー取り付け時、安全弁からのガス漏洩
事例10 塩素ガスシリンダー弁の閉塞
事例11 C1系ガス逆流によるシリンダーキャビネット腐食事故
事例12 シリンダーキャビネット内でのHClガス漏洩
事例13 気密試験時の容器弁口金部からのリーク
事例14 イオン注入装置からのBF3ガス漏洩事故
事例15 イオン注入装置配管亀裂部からの三フッ化ホウ素漏洩
事例16 シリンダーキャビネット内におけるHBrの漏洩
事例17 シリンダー交換時の残留ガス漏洩による検知器発報
事例18 N2パージラインにシランガスが混入
事例19 シリンダー元弁の口金部よりガス漏れし、発火
事例20 SiH4シリンダー交換中に発火
事例21 SiH4シリンダー交換中に発火・発煙
１－２ シリンダーキャビネットから供給配管
事例22 SiH6漏洩発火と副次的事故
事例23 CVD装置ガス供給配管部におけるシランガスの漏出・火災事故
事例24 二重配管内のアルシンガスがリーク
事例25 CVD装置ガス供給配管部の火災事故
事例26 モノシラン漏洩による発火事故(配管工事中の確認ミス)
１－３ 製造装置内
事例27 縦型拡散炉でのPOC13リーク
事例28 ドライエッチング装置ガスボックス内での塩素ガス漏洩
事例29 常圧CVD装置内のメンテナンス中のB2H6漏洩
事例30 TEOSの漏洩
事例31 イオン注入装置メンテナンス中にリンが発火
事故発生エリアⅡ－製造装置以降からポンプ
２－１ フォアライン
事例32 CVD装置排気フォアラインにおける破裂
事例33 縦型酸化炉でのHClガス漏れ事故
事例34 排ガス管のシラン堆積物が発火して火傷
２－2 ポンプ
事例35 排気ポンプ系の破裂事故
事例36 真空ポンプメンテナンス時のガス漏洩
事例37プラズマCVD処理中の真空ポンプ停止事例
事例38 LP-CVD装置用ロータリーポンプ内でシランガスが爆発
２－３ 排気配管
事例39 排気ダクトにおける粉塵爆発
事例40 CVD装置排気系配管の発火事故
事例41 除害装置付近での爆発音発生と装置の停止
事例42 誤って排気配管にモノシランを大量放出し火災
事例43 MO-CVD装置の排ガス管を清掃中に火傷
事例44 エピタキシャル装置反応ガスクーラ発火事故
事例45 SiH2C12の漏洩
事例46 エッチング装置排気系からのC12ガスの漏洩
事故発生エリア３－ポンプ以降から除害装置
３ 除害装置
事例47 スクラバーがメンテナンス中に破裂
事例48 CVD排気ガススクラバー発火事故
事例49 C12除害塔の破裂事故
事例50 CVDスクラバーからのClF3漏洩
事例51 除害装置および排気ダクトの燃焼異常
事例52 エピ装置排気ダクト内過熱と煙の発生
事例53 ドライエッチング用除害装置でのガス漏洩
第２部 半導体ガスの健康影響と除害・環境安全対策
第1章 半導体製造ガスの健康影響<上村隆元/武林亨/大前和幸>
1．半導体製造職場の産業医学的特性および研究の現状
2．曝露様態と健康影響の考え方
3．半導体製造ガスの生体毒性に関する知見
4．半導体製造作業者の健康影響に関する報告
5．今後の展望
第2章 除害・環境安全対策
第1節 半導体製造ラインの排ガス処理設備（須藤 淳）
1．危険性ガスの処理
2．有機溶剤排ガスの処理
3．PFC等の温暖化ガスの処理
第2節 メンテナンス時の注意事項と作業安全対策
１．ガス供給配管系のメンテナンス<福島崇元>
1．メンテナンスの実施計画
2．作業内容
3．作業安全対策
4．その他
２．ガス排気配管系のメンテナンス（坂井克夫）
1．排気系の構成とその設置基準
2．反応副生成物(副生成物)の成分とその危険性
3．排気配管系メンテナンス
4．反応副生成物除去技術
5．今後の対応
３．イオン注入装置のメンテナンス（前田尚志）
1．イオン注入装置用として一般的に使用されるガスの特徴
2．ガス供給系統について
3．日常点検について
4．ガスシリンターの交換について
5．ガスシリンター内に吸着材を有するイオン注入装置用ガス供給方式
４．エッチャーのメンテナンス（吉田達彦）
1．人身の安全に対する基本的な注意事項
2．ドライエッチング装置内におけるガスの収支
3．まとめ
５．CVD・エピタキシャル装置のメンテナンス（橋本哲一/中村直人）
1．ガス供給系
2．CVD装置
3．酸化・拡散装置
4．排気系
第3節 汚染品の処理方法と処理設備
１．半導体製造装置接ガス部の汚染除去(その1)（半田 栄）
1．評価装置や研究用機器の汚染除去
2．汚染除去についての考え方
3．評価装置や修理部品に対する考え方
２．半導体製造装置接ガス部の汚染除去(その2)（室中善博）
1．接ガス部.汚染除去と一般的な取り扱い
2．接ガス部,汚染部品の汚染除去手順
３．真空ポンプの汚染除去（臼井克明）
1．高真空ポンプ
2．低真空ポンプ
3．吸排気管
4．ポンプの洗浄
４．ガス配管システムの汚染除去（池田信一）
1．ガス配管システム設置時の仕様
2．各種汚染とその除去方法
第4節 クリーンルーム内の作業環境保全
１．じょ限量とガス漏洩検知システム（中野信夫）
1．毒性ガスのじょ限量
2．ガス漏洩検知システム
3．ガスサンプリング方式
２．クリーンルームの煙検知システム（宮崎太四郎）
1．クリーンルームの煙検知に関する問題点
2．煙検知システムに求められる機能
3．クリーンルームを対象にした煙検知システム
4．超高感度煙検知システムの設置例
３．排煙・局所排気システム（今津良幸）
1．排煙設備
2．排気システム
４．作業環境測定（吉田隆紀）
1．クリーンルームの性能評価規格
2．クリーンルームの作業環境測定の現状
3．クリーンルームの作業環境測定の問題点
第5節 作業用保護具と携帯すべき機器（内藤博光）
1．呼吸用保護具の種類
2．緊急時の呼吸用保護具(自給式)
3．イオン注入装置と保護具の必要性
4．CVD装置と保護具の必要性
5．ガス被災時の応急処理
6．作業用保護具と高圧ガス保安法関係
7．携帯すべき機器
8．その他の作業用保護具
第6節 緊急時の排気・排煙・隔離システム（小西俊一）
1．事故の原因とその対策
2．ガス漏洩時の緊急排気
第7節 PFC等の環境対策（笹部俊二）
1．地球温暖化とPFC
2．PFC削減技術
3．考察および今後の課題
第8節 半導体ガス利用装置の保守管理と適正処理（柳田一志）
1．半導体製造プロセスで使用される化学物質とその危険性
2．保守管理作業の安全確保
3．装置の保守管理作業の要求事項
4．装置の処理・処分
第３部 半導体ガスの安全・保安システム
策1章 半導体ガスの品質管理
第1節 半導体ガスの品質管理（長谷川英晴）
1．ガス品質管理の重要性
2．半導体分野で問題とされる不純物レベル
3．検出感度0.1ppbを実現するガス分析技術
4．サンプリング技術
5．パーティクル管理
6．成膜によるガス品質評価
7．品質と保安
第2節 オンサイト方式のガス供給と品質管理（石田善久/亀崎宏行/柴田巌）
1．現状の供給システムと管理内容
2．今後の対応について
3．将来の展望について
第2章 半導体ガスの安全管理 第1節 半導体工場における安全管理の実際（遠藤裕/明断和紀/庄司邦彦）
1．半導体工場固有の問題点
2．安全管理のための組織・行事・業務
3．作業者・技術者の育成
第2節 半導体工場におけるガス監視システム（永堀謙太郎）
1．特殊材料ガスの検知と対応検知原理
2．各プロセス系とガスモニターの種類
3．監視と制御の考え方
4．最新のシステム構成
第3節 ガス検知警報器（高橋良典）
1．対象ガスとセンサー選定および検知方式による特徴
2．センサーの設置環境と注意事項
第4節 火災警報設備と消火設備（宮崎太四郎）
1．自動火災報知設備
2．消火設備
第5節 地震感知器（鹿熊英昭/野村幸司）
1．地震計の種類
2．地震感知器の動作原理
3．地震感知器の使われ方
第6節 危険度評価法（加藤芳久）
1．危険度評価の考え方
2．危険度評価の方法
3．半導体工場の危険度評価結果と適用
4．安全管理レベルを含めた総合的考え方
第7節 半導体材料ガスの安全教育（金子晃治）
1．組織と体系
2．安全教育計画
3．安全教育の実施
4．高圧ガスの専門教育について
第8節 シリンダーキャビネットの安全対策について（新田義浩）
1．シリンダーキャビネットの役割
2．シリンダーキャビネットの特徴
3．オートパージ式シリンダーキャビネットの機能
4．シリンダーキャビネットの安全機能
5．シリンダーキャビネットの腐食ガス対策
第3章 半導体ガスに関する法規制
第1節 高圧ガス保安法（伊藤文夫）
1．高圧ガス保安法への改正の要旨
2．半導体工場で使用されるガスの規制について
第2節 消防法危険物とその火災対策（佐藤公雄）
1．消防法の危険物
2．半導体産業で使用される危険物
3．危険物を取り扱う施設の火災対策
第3節 産業廃棄物処理とその管理（佐々木祥之）
1．産業廃棄物の定義
2．産業廃棄物の処理・処分
3．産業廃棄物の処理・処分の実際
4．産業廃棄物の管理
5．産業廃棄物の処理・処分の今後
【執筆者一覧】
＊所属・肩書き等は発刊当時のものです
■編集委員会
吉見 武夫 （株）日立製作所半導体技術開発センタULSlプロセス技術開発部副技師長
山岸 壯吉 日本電気（株）半導体環境管理推進センターエグゼクティブエキスパート
古村 雄二 富士通（株）LS1製造事業本部デバイス開発部第三デバイス開発部長
坂井 克夫 松下電子工業（株）半導体事業本部プロセス開発センタープロセス技術部主任技師
滝上 森干 沖電気工業（株）DBGデバイス生産センタ環境保全部環境IS0チームチームリーダー
佐々木三干雄 ソニー（株）総務部安全セキュリティ管理課課長
井深 成仁 東京エレクトロン（株）標準環境安全センターセンター長
斎藤 喜二 アプライドマテリアルズジャパン（株）安全推進統括部次長
金子 晃治 日本酸素（株）技術・開発本部保安監査室室長
柳沢善次郎 信越半導体（株）環境安全部部長代理
■執筆者
上村 隆元 慶応義塾大学医学部衛生学公衆衛生学教室助手
武林 亨 慶応義塾大学医学部衛生学公衆衛生学教室講師
大前 和幸 慶応義塾大学医学部衛生学公衆衛生学教室教授
須藤 淳 富士通（株）電子デバイス事業推進部施設技術部プロジェクト課長
福島 崇元 九州日本電気（株）自動化推進部主任
坂井 克夫 松下電子工業（株）半導体事業本部プロセス開発センタープロセス技術部主任技師
前田 尚志 日新電機（株）イオン機器事業部半導体用装置技術部設計第1課課長
吉田 達彦 アネルバ（株）半導体装置事業部第2技術部技術課長
橋本 哲一 国際電気（株）電子機械事業部技師長
中村 直人 国際電気（株）富山工場プロセス技術センタ
半田 栄 東京エレクトロン（株）標準環境安全センター
室中 善博 アプライトマテリアルスジャパン（株）安全推進統括部課長
臼井 克明 （株）荏原製作所精密・電子事業本部精密機器事業部設計第一部技術課長
池田 信一 （株）フジキン大阪ハイテック研究所代表技師
中野 信夫 理研計器（株）研究部研究一課課長
宮崎 太四郎 能美防災（株）環境システム事業部副事業部長
今津 良幸 高砂熱学工業（株）東京本店設計2部参事
吉田 隆紀 高砂熱学工業（株）総合研究所参与
内藤 博光 ソニー（株）セミコンダクタカンパニー安全環境管理室統括係長
小西 俊一 日立プラント建設（株）空調プラント事業本部設備事業部西部設計部主任技師
笹部 俊二 （株）日立製作所半導体事業部生産技術センタ第一生産技術部主任技師
柳田 一志 三友プラントサービス（株）営業第1部係長
長谷川英晴 日本酸素（株）技術・開発本部つくば研究所所長
石田 善久 NSエンジニアリング（株）常務取締役
亀崎 宏行 日本酸素（株）電子機材事業本部主事
柴田 巌 日本酸素（株）電子機材事業本部主事
遠藤 裕 山口日本電気（株）環境管理センターセンター長
明翫 和紀 関西日本電気（株）環境安全センター主任
庄司 邦彦 山形日本電気（株）拡散技術部材料技術担当課長
永堀謙太郎 理研計器（株）営業技術部部長
高橋 良典 新コスモス電機（株）特殊ガス機器営業部部長
鹿熊 英昭 （株）アカシ取締役技術統括部長
野村 幸司 （株）アカシ技術1部3グループリーダー
加藤 芳久 日本酸素（株）電子機材事業本部特殊ガス技術部部長
金子 晃治 日本酸素（株）技術・開発本部保安監査室室長
新田 義浩 NSエンジニアリング（株）第2エンジニアリング部半導体機器グループチーフ
伊藤 文夫 大陽東洋酸素（株）半導体関連生産技術本部生産技術部長兼技術サービス部長
佐藤 公雄 消防庁消防研究所研究企画官
佐々木祥之 三友プラントサービス（株）営業第1部係長
