目次
第１章 帯電・静電気放電の基礎
第２章 電子デバイスの静電気対策の動向と静電気学会での取り組み
第３章 静電気放電と電子デバイスの破壊現象
第４章 静電気対策技術としてのイオナイザの選定とその使用方法
第５章 半導体デバイスの静電気放電対策
第６章 新しい静電気表面電位測定技術とその応用例
第７章 液晶パネル及び半導体デバイス製造における静電気対策
第８章 帯電した人体からの静電気放電で発生する放電電流
第９章 マイクロギャップ放電特性とＥＳＤ対策
著者等紹介
水野彰［ミズノアキラ］
豊橋技術科学大学環境・生命工学系。１９７８年東京大学大学院工学系研究科博士課程修了。その後石川島播磨重工業（株）を経て豊橋技術科学大学講師、現在教授。専門は静電気応用工学。静電気学会（会長）、電気学会、応用物理学会、ＩＥＥＥなど（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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