目次
第1章 表面および界面分析の展望
第2章 装置
第3章 スペクトルの解釈
第4章 深さ方向分析
第5章 オージェ電子分光法とX線光電子分光法における定量
付録(分光器の較正;帯電の補正法;光電子分光法におけるデータ解析;オージェ電子と光電子のエネルギーおよびオージェパラメータ;実験的に求められたXPS用感度係数;元素スペクトルのピーク位置;数値によるスペクトルピーク位置;オージェ電子の運動エネルギー)
第1章 表面および界面分析の展望
第2章 装置
第3章 スペクトルの解釈
第4章 深さ方向分析
第5章 オージェ電子分光法とX線光電子分光法における定量
付録(分光器の較正;帯電の補正法;光電子分光法におけるデータ解析;オージェ電子と光電子のエネルギーおよびオージェパラメータ;実験的に求められたXPS用感度係数;元素スペクトルのピーク位置;数値によるスペクトルピーク位置;オージェ電子の運動エネルギー)