内容説明
本書はＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）関連の技術、市場、応用の最新動向を集大成した書籍です。過去１年間に『日経マイクロデバイス』と『日経エレクトロニクス』に掲載されたＭＥＭＳ関連記事、さらに毎年恒例のセミナー「ＭＥＭＳ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ２００７／センサーシンポジウム」の講演に基づく記事も掲載しました。
目次
第１章 ＭＥＭＳビジネスと新技術
第２章 携帯電話・無線通信
第３章 自動車
第４章 光学・映像機器
第５章 バイオ・医療機器
第６章 加速度センサー
第７章 振動子・発振器
第８章 Ｓｉマイクと周辺技術
第９章 測定装置と各種センサー
第１０章 パッケージング
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