低温プラズマ材料化学

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  • サイズ A5判／ページ数 296p／高さ 22cm
  • 商品コード 9784782820537
  • NDC分類 501.4
  • Cコード C3043

目次

第１章　低温プラズマによる物質創製の意義
第２章　プラズマの化学
第３章　プラズマＣＶＤ
第４章　イオンプレーティング
第５章　スパッタリング
第６章　プラズマ重合
第７章　プラズマ表面処理
第８章　プラズマエッチング

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