エレクトロニクスシリーズ ナノインプリントの開発とデバイス応用 （普及版）

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エレクトロニクスシリーズ
ナノインプリントの開発とデバイス応用（普及版）

松井真二【監修】
価格 ¥6,160（本体¥5,600）
シーエムシー出版（2018/03発売）
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サイズ B5判／ページ数 282p／高さ 26cm
商品コード 9784781312729
NDC分類 549
Cコード C3054

総論
第１編　転写方式（熱ナノインプリント；光ナノインプリント；室温ナノインプリント；ナノインプリントのシミュレーション技術）
第２編　装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド；樹脂；離型剤（評価）
離型不良・課題
ナノインプリントパターン評価）
第３編　デバイス応用（光デバイス；電子デバイス；エネルギーデバイス；バイオデバイス）