ＣＭＣ ＴＬ ナノインプリント技術および装置の開発

松井 真二/古室 昌徳【監修】

シーエムシー出版（2011/02発売）

• サイズ A5判／ページ数 213p／高さ 21cm
• 商品コード 9784781303024
• NDC分類 549
• Cコード C3054

目次

第１章　総説（転写方式；周辺技術　ほか）
第２章　転写方式（熱ナノインプリントの基礎とそのシーズ；室温ナノインプリント技術　ほか）
第３章　装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド　ほか）
第４章　デバイス応用（電子・磁気・光学デバイス；光デバイス　ほか）