内容説明
半導体の微細加工技術を利用して、数μｍという超小型の機械部品やモーターなどを、シリコン基板上に製作することが可能になった。本書は、ミクロンレベルからナノ領域にいたる微小機械についてのさまざまな技術展開と可能性を示す。
目次
第１章 マイクロ・ナノ機械の発展の歴史
第２章 マイクロ・ナノ機械の特徴と利点
第３章 マイクロ・ナノ機械の応用分野
第４章 光技術への応用
第５章 バイオ・化学分野への応用
第６章 マイクロ・ナノマシーニング（製作技術）
第７章 マイクロアクチュエータ
著者等紹介
藤田博之［フジタヒロユキ］
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター・教授。１９８０年３月東京大学大学院電気工学専門課程修了（工学博士）。同年４月より東京大学生産技術研究所講師、８１年５月同助教授、９３年８月同教授、２０００年４月同付属マイクロメカトロニクス国際研究センター長となり、現在に至る。この間８３年から８５年までＭＩＴ客員研究員。主としてマイクロマシン、マイクロアクチュエータ、自律分散システムの研究に従事。９７年市村学術賞功績賞、２０００年服部報公賞受賞、２００１年フランス共和国政府教育・学術功労勲章シュバリエ受賞
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