内容説明
本書は、洗浄技術のうち、特に洗浄装置と洗浄剤を中心に解説している。洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントのほか、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、その詳細をそれぞれ専門技術者に解説して頂いた。さらに、製造現場ではどのように代替洗浄が行なわれているか、半導体製造工程、液晶製造工程における事例を紹介した。
目次
第１章 洗浄技術の現状（洗浄技術の課題と展望；洗浄装置選定のポイント ほか）
第２章 エレクトロニクス産業の洗浄技術（半導体洗浄技術の現状；半導体ウェハ洗浄技術の動向 ほか）
第３章 洗浄装置の機能と特徴（真空洗浄装置；水系洗浄装置 ほか）
第４章 洗浄剤の特徴と選定（環境に優しい洗浄剤；水系洗浄剤 ほか）
第５章 資料（洗浄度の指標分類；脱脂洗浄法と洗浄剤との適合性 ほか）
