内容説明
「ナノインプリント」の歴史はまだ10年である。本書は、ナノインプリントの技術の発展や背景、あるいは企業動向をこの一冊でわかるようにまとめている。どの科学技術分野でも、その技術だけではなく周辺技術とその関係が非常に重要になるが、ナノインプリント技術の場合も、半導体製造技術と機械加工技術といった、両極端の幅の広い分野との絡みがあるため、しばしば混乱を生じることが多い。このようなところを交通整理して、必要最小限で理解が進むように気をつけながら解説されている。ナノインプリント技術の基礎を学ぶ絶好の書である。
目次
第1章 ナノインプリント技術とは
第2章 ナノインプリント技術のための要素技術
第3章 ナノインプリントリソグラフィ
第4章 ナノインプリント技術の位置付け
第5章 ナノインプリント技術の動向
第6章 ナノインプリント技術の将来展望
著者等紹介
谷口淳[タニグチジュン]
平成6年3月東京理科大学基礎工学部電子応用工学科卒業。平成8年3月東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻修士課程修了。平成11年3月東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻博士後期課程修了博士(工学)。平成11年4月東京理科大学基礎工学部電子応用工学科勤務。東京理科大学基礎工学部電子応用工学科講師。専門分野は、ナノテクノロジー、ナノインプリント技術、超微細加工技術、ダイヤモンドの加工技術など。今までの技術では作製が困難であったナノオーダーのモノづくりに挑戦している(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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