超ＬＳＩ技術〈１８〉デバイスとプロセス その８

西沢 潤一【編】

工業調査会（1994/08発売）

• サイズ B5判／ページ数 384p／高さ 28cm
• 商品コード 9784769311294
• NDC分類 549.8
• Cコード C3055

目次

１　サブ０．１μｍＭＯＳＦＥＴの特性と電気伝導機構
２　０．１ミクロンＣＭＯＳ技術
３　０．１μｍＭＯＳＦＥＴにおける短チャネル効果とその制御
４　ＮＡＮＤ型メモリ
５　薄膜ＳＯＩ　ＭＯＳＦＥＴ技術
６　ウェハ張り合わせＳＯＩ技術
７　ゲート酸化膜の構造と長期信頼性
８　界面制御による多層配線の信頼性
９　金属‐Ｓｉ界面の結晶学的・電子的構造とコンタクト抵抗