内容説明
オージェ電子分光法に関する解説書はすでに多く出版されているため、本書では原理的なことには深くは立ち入らず、むしろどのようにデータを取得するか、また取得したデータをいかに解析するかという観点に立った内容となっている。したがって、通常の解説書ではブラックボックスとなっていた部分についても詳しく説明しており、いわゆる“かゆいところに手が届く”構成。また、事例も豊富に取り上げ、実際に試験片をどのように解析し、どのように報告するかが理解できるように解説されている。
目次
1 はじめに
2 試料作製
3 定性と定量
4 データ処理
5 深さ方向分析
6 事例
7 保守
付録1 オージェピークの命名法
付録2 共通データ処理環境用ソフトウェアとデータベース
付録3 標準試料