内容説明
本書は、単なる真空技術の解説書ではない。第一の特徴は、基礎物理にもとづいた洞察と理解という一貫した立場で真空技術を解説したところにある。そのほか真空技術における最新の重要な話題をほとんど網羅していて、理解を深めるため実際の代表的な真空系についての具体的説明や、真空技術の歴史や物理的興味にも適切な配慮がなされている。この分野に関心のある学生、技術者、研究者にとって本書は優れた入門書となろう。
目次
１ 気体分子運動論の概説
２ 管とオリフィスを通る気体の流れ
３ 物理吸着、化学吸着、その他の表面現象
４ 真空ポンプ―その物理的原理
５ 圧力測定
６ 真空系の設計
７ 組立用付属品と材料
８ 漏れ検出
９ 実際の真空系
