内容説明
ＬＳＩの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体ＬＳＩに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体ＬＳＩはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。
目次
第１章 半導体ＬＳＩとは
第２章 半導体製造技術及び装置技術の動向
第３章 設計工程
第４章 ウェーハ製造工程
第５章 フォトマスク製作工程
第６章 ウェーハ処理工程（前工程）
第７章 組立工程
第８章 検査工程
感想・レビュー
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★★★☆☆2022/06/11
