出版社内容情報
集積回路の集積度の向上を支える薄膜作成技術の進展は著しい．現状に合わせた応用を入れ３版とした◆項目 薄膜技術 真空の基礎 真空ポンプと真空計測 真空装置 薄膜の基礎 薄膜作成法 蒸着法 スパッタ 熱酸化窒化と気相成長 エッチング 他
内容説明
今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術―薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。
目次
第１章 薄膜技術
第２章 真空の基礎
第３章 真空ポンプと真空計測
第４章 真空装置の実際
第５章 薄膜の基礎
第６章 薄膜作成法
第７章 蒸着法
第８章 スパッタ
第９章 熱酸化窒化と気相成長ＣＶＤ
第１０章 エッチング
第１１章 平坦化技術
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