出版社内容情報
真空技術に関する基礎を身につけ,最近の超高真空をはじめとする新しい応用面,機器類なども概観できるようにまとめた,初級技術者のための入門書.◆項目 真空の度合 真空の利用 気体の性質 ガス放出と真空用材料 真空ポンプ 圧力計測 ほか
目次
第1章 真空の利用
第2章 真空の度合
第3章 気体の性質
第4章 ガス放出と真空用材料
第5章 真空ポンプ
第6章 圧力計測
第7章 真空部品
第8章 真空中の可動機構における潤滑
第9章 リークテスト
第10章 各種真空装置における真空技術