薄膜化技術 （第２版）

和佐 清孝/早川 茂【著】

共立出版（1992/09発売）

• サイズ A5判／ページ数 282p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784320084971
• NDC分類 549.8
• Cコード C3054

出版社内容情報

【解説】
最新の薄膜化技術内容を収録し，基礎から実際の生産までを多くの事例を示して解説すると共に，将来への新しい展望にもふれた入門書兼実用書。

【目次】
薄膜とその応用（薄膜材料，薄膜の形成法と評価他）・スパッタの基磯と応用（スパッタ装置と動作特性他）・付録

目次

第１部　薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）
第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着）