薄膜材料工学

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薄膜材料工学

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  • サイズ A5判／ページ数 254p／高さ 22X16cm
  • 商品コード 9784303712600
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3055

目次

第１章　薄膜の特徴
第２章　薄膜の形成法
第３章　薄膜の形成過程
第４章　薄膜の基礎物性
第５章　薄膜の構造と欠陥
第６章　薄膜の評価法
第７章　金属薄膜とその応用
第８章　半導体薄膜とその応用
第９章　セラミックス薄膜とその応用
第１０章　高分子薄膜とその応用

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