薄膜材料工学

薄膜材料工学

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  • サイズ A5判/ページ数 254p/高さ 22X16cm
  • 商品コード 9784303712600
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3055

目次

第1章 薄膜の特徴
第2章 薄膜の形成法
第3章 薄膜の形成過程
第4章 薄膜の基礎物性
第5章 薄膜の構造と欠陥
第6章 薄膜の評価法
第7章 金属薄膜とその応用
第8章 半導体薄膜とその応用
第9章 セラミックス薄膜とその応用
第10章 高分子薄膜とその応用

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