薄膜材料工学

北田 正弘/入戸野 修/大坂 敏明【編著】

海文堂出版（1989/11発売）

• サイズ A5判／ページ数 254p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784303712600
• NDC分類 549.8
• Cコード C3055

目次

第１章　薄膜の特徴
第２章　薄膜の形成法
第３章　薄膜の形成過程
第４章　薄膜の基礎物性
第５章　薄膜の構造と欠陥
第６章　薄膜の評価法
第７章　金属薄膜とその応用
第８章　半導体薄膜とその応用
第９章　セラミックス薄膜とその応用
第１０章　高分子薄膜とその応用