プラズマイオンプロセスとその応用

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プラズマイオンプロセスとその応用

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  • サイズ A5判/ページ数 279p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784274201233
  • NDC分類 427.6

内容説明

本書では、プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術などの応用技術も広く扱われている。

目次

1章 はじめに
2章 プラズマの基礎
3章 インオシースの基礎
4章 プラズマイオンプロセスにおけるプラズマの条件
5章 プラズマ源
6章 プラズマ計測
7章 モデリング
8章 機能性薄膜の生成
9章 半導体への応用