プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会【編】

オーム社（2005/10発売）

• サイズ A5判／ページ数 279p／高さ 22cm
• 商品コード 9784274201233
• NDC分類 427.6
• Cコード C3055

内容説明

本書では、プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術などの応用技術も広く扱われている。

目次

１章　はじめに
２章　プラズマの基礎
３章　インオシースの基礎
４章　プラズマイオンプロセスにおけるプラズマの条件
５章　プラズマ源
６章　プラズマ計測
７章　モデリング
８章　機能性薄膜の生成
９章　半導体への応用