光電子集積回路の基礎技術

光電子集積回路の基礎技術

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  • サイズ A5判／ページ数 448p／高さ 22X16cm
  • 商品コード 9784274032394
  • NDC分類 549.7
  • Cコード C3055

内容説明

基板結晶技術およびエピタキシャル技術、基板結晶やエピタキシャル結晶層のエッチング、金属材料・絶縁材料と界面の物理的化学的性質ｅｔｃ．を体系的に解説。

目次

基板（バルク）結晶技術
エピタキシャル成長技術
清浄表面プロセス技術
化合物半導体の表面及び界面
多重量子井戸の不純物による無秩序化
ＯＥＩＣテクノロジー

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