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出版社内容情報
黎明期以降の素子の微細化期に焦点を当て、極微スケールでのトランジスタの機構・物理を解説。
名取研二[ナトリケンジ]
著・文・その他
目次
1 はじめに
2 半導体のキャリヤ輸送
3 フラックスを用いたキャリヤ輸送の解析
4 古典的なMOSFETの理論
5 バリスティックなMOSFETの理論
6 準バリスティックなMOSFETへの拡張
7 微細系のMOSキャパシタンス
8 MOSトランジスタの微細化限界
著者等紹介
名取研二[ナトリケンジ]
1945年山梨県に生まれる。1974年東京大学大学院物理学研究科博士課程修了。1990年(株)東芝ULSI研究所研究部長。1994年筑波大学物理工学系教授。2009年東京工業大学特任教授を経て、筑波大学名誉教授。応用物理学会フェロー。理学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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