内容説明
真空装置の最新技術と関連データを網羅したハンドブック、待望の３訂版登場！
「真空ハンドブック」は、1992年11月に初版が、2002年に新装版が発行され、真空装置の最新技術と関連データを掲載した数少ない書籍として、長らく読者諸氏より好評を博してきました
この度の３訂版では、初版発行から現在までの技術的進展や、経済・産業上の環境変化を鑑み、内容や収録データの見直し・更新を行い、より現状の実務に即した書籍として発刊するものです。
目次
第１章 真空の基礎
第２章 真空用部品
第３章 真空用構成材料
第４章 熱
第５章 低 温
第６章 プラズマ・イオンビーム
第７章 表面分析
第８章 薄膜・表面加工
第９章 応用
