真空ハンドブック（３訂版）

著者名：株式会社アルバック【編】

オーム社（2024/03発売）

• ISBN：9784274231773

内容説明

真空装置の最新技術と関連データを網羅したハンドブック、待望の３訂版登場！
　「真空ハンドブック」は、1992年11月に初版が、2002年に新装版が発行され、真空装置の最新技術と関連データを掲載した数少ない書籍として、長らく読者諸氏より好評を博してきました
　この度の３訂版では、初版発行から現在までの技術的進展や、経済・産業上の環境変化を鑑み、内容や収録データの見直し・更新を行い、より現状の実務に即した書籍として発刊するものです。

目次

第１章　真空の基礎
第２章　真空用部品
第３章　真空用構成材料
第４章　熱
第５章　低　温
第６章　プラズマ・イオンビーム
第７章　表面分析
第８章　薄膜・表面加工
第９章　応用