新版 Ｘ線反射率法入門

著者名：桜井健次【著・編】

講談社（2018/11発売）

• ISBN：9784061532960

内容説明

※この商品はタブレットなど大きいディスプレイを備えた端末で読むことに適しています。また、文字だけを拡大することや、文字列のハイライト、検索、辞書の参照、引用などの機能が使用できません。

日本初のＸ線反射率法に関する専門書が９年ぶりの増補改訂。原理、実験方法、データ解析法、多彩な材料への応用事例を網羅。なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの視点からていねいに解説。この１冊で機能薄膜の構造解析が自由自在に。※この商品は紙の書籍のページを画像にした電子書籍です。文字だけを拡大することはできませんので、タブレットサイズの端末での閲読を推奨します。また、文字列のハイライトや検索、辞書の参照、引用などの機能も使用できません。

目次

1　X線反射率の基礎
1.1　光とX線
1.2　X線反射率法の特徴
1.3　膜密度はどのように決まるか
1.4　膜厚はどのように決まるか
1.5　膜の表面・界面粗さはどのように決まるか
1.6　いろいろな反射率計算法
1.7　結晶からの反射率
1.8　共鳴磁気反射率
1.9　コヒーレンスとコヒーレント回折
1.10　実際の測定とデータ解析の基礎
2　X線反射率の測定装置と測定方法
2.1　X線反射率測定装置に必要な条件
2.2　X線反射率測定装置の実際
2.3　反射率の測定方法
2.4　散漫散乱測定
2.5　平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定
3　X線反射率のデータ解析法
3.1　はじめに
3.2　X線反射率のデータ解析の前に
3.3　最小二乗法フィッティングによる膜構造解析の手順
3.4　単層膜の解析と精度の評価
3.5　多層膜の解析と精度の評価
3.6　多波長X線反射率法
3.7　2波長法による多層膜構造解析
3.8　3波長法による多層膜構造解析
3.9　反射率解析の今後
3.10　まとめ
4　X線反射率のデータ解析の注意事項
4.1　はじめに
4.2　理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
4.3　個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方
4.4　最小二乗フィッティング計算に由来する問題
4.5　構造モデルに過度に依存しない解析の試み
4.6　おわりに
5　微小領域分析およびイメージングへの展開
5.1　顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合
5.2　放射光ナノビームによる微小領域分析
5.3　高エネルギー白色X線による微小領域分析
5.4　画像再構成法によるイメージング
5.5　微小領域分析・イメージングの今後
6　時々刻々変化する系の追跡への展開
6.1　はじめに
6.2　多チャンネルX線反射率法（Naudonの方法）
6.3　白色X線反射スペクトル法
6.4　従来の角度走査型の装置によるその場計測
6.5　時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来
7　X線反射率法の応用
7.1　半導体薄膜
7.2　ハードディスク
7.3　X線光学用多層膜
7.4　電気化学界面などの固液界面
7.5　有機・高分子薄膜
7.6　液体の表面，界面，単分子膜
8　X線反射率法と併用すると有意義な関連技術
8.1　微小角入射蛍光X線分析法
8.2　微小角入射X線回折法
8.3　共鳴軟X線スペクトル法
8.4　GISAXS法
8.5　X線光子相関分光法
9　中性子の利用
9.1　はじめに
9.2　中性子反射光学の基礎
9.3　中性子反射率法の特徴
9.4　中性子反射率法の適用例
9.5　X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用
おわりに　X線反射率の100年
付録1　C++によるX線・中性子反射率計算プログラム
付録2　Pythonによる反射率計算プログラム