Fabrication of Micro/Nano Structures via Precision Machining : Modelling, Processing and Evaluation

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Fabrication of Micro/Nano Structures via Precision Machining : Modelling, Processing and Evaluation

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  • 製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版/ページ数 398 p.
  • 言語 ENG
  • 商品コード 9789819913404

Full Description

This book introduces the cutting-edge technology of micro/nano structure fabrication from precision machining, electrical discharge machining (EDM) and precision grinding and injection molding, the contents of the presented book includes​ but not limited to the machining process, cutting tool preparation, tool path generation, and surface evaluation. This book provides a variety of feasible fabrication methods and advanced manufacturing techniques for the precision fabrication of micro/nano-structures, especially for complex micro/nano-structures. Since the book focuses on the micro/nano-structure fabrication methods including hieratical micro/nano-structures, graduate students, engineering technicians, and researchers in related areas will benefit from this book; also, someone in related application fields such as biomedicine, communication, optics may be the potential readers of this book.

Contents

Chapter 1. Introduction, Yuting Ma, Shuaikang Cao and Guoqing Zhang.- Chapter 2. Tool offset flycutting straight-groove-type micro structures, Jianpeng Wang and  Guoqing Zhang.- Chapter 3. Tool offset flycutting multi-layer hierarchical microstructures, Shuai Ma and  Guoqing Zhang.- Chapter 4. Tool offset flycutting micro-optics arrays with high-aspect-ratio, Zhanwen Sun and Suet To.- Chapter 5. Diamond milling system for fabricating infrared micro-optics arrays, Zhanwen Sun and Sujuan Wang.- Chapter 6. Cutting force and energy modelling in ultra-precision machining of micro-structures, Zhejia Zhao, Zhanwen Sun and Suet To.

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