Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies (NATO Science Series E:)

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Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies (NATO Science Series E:)

Coffa, S. (EDT)/ Priolo, F. (EDT)/ Rimini, Emanuele (EDT)

ウェブストア価格 ¥45,841（本体¥41,674）
Springer（2012/10発売）
外貨定価 US$ 219.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 538 p.
言語 ENG
商品コード 9789401052030
DDC分類 620

Full Description

World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial issues.