シリコン半導体技術 Silicon Semiconductor Technology : Processing and Integration of Microelectronic Devices

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シリコン半導体技術<br>Silicon Semiconductor Technology : Processing and Integration of Microelectronic Devices

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シリコン半導体技術
Silicon Semiconductor Technology : Processing and Integration of Microelectronic Devices

Hilleringmann, Ulrich

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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 264 p.
商品コード 9783658410407

Full Description

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit.