Technologien der Mikrosysteme （1. Aufl. 2022）

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Technologien der Mikrosysteme （1. Aufl. 2022）

Ngo, Ha Duong

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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版
商品コード 9783658374976

Full Description

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding).