Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry

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Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry

Taudt, Christopher

ウェブストア価格 ¥11,190（本体¥10,173）
Springer Vieweg（2021/11発売）
外貨定価 US$ 49.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 163 p.
言語 ENG
商品コード 9783658359256
DDC分類 535.470287

Full Description

During a characterization, it was shown that an axial measurement range of 79.91 µm with an axial resolution of 0.1 nm is achievable. Also, the axial and lateral measurement range were decoupled partially while functional parameters such as surface roughness were estimated.