Low Dielectric Constant Materials for IC Applications (Springer Series in Advanced Microelectronics 9) （Softcover reprint of the original 1st ed. 2003. 2012. xix, 310 S. XIX,）

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Low Dielectric Constant Materials for IC Applications (Springer Series in Advanced Microelectronics 9) （Softcover reprint of the original 1st ed. 2003. 2012. xix, 310 S. XIX,）

Herausgegeben:Ho, Paul S./ Leu, Jihperng/ Lee, Wei William

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SPRINGER, BERLIN; SPRINGER BERLIN HEIDELBERG; SPRINGE（2012発売）
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 330 p.
商品コード 9783642632211
DDC分類 621.381

Full Description

Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability.