半導体のエピタキシー入門<br>Epitaxy of Semiconductors : Introduction to Physical Principles (Graduate Texts in Physics)

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半導体のエピタキシー入門
Epitaxy of Semiconductors : Introduction to Physical Principles (Graduate Texts in Physics)

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版/ページ数 324 p./サイズ 210 illus., 57 in color.
  • 商品コード 9783642329692

基本説明

Provides the essentials for a comprehensive graduate course on crystal growth of semiconductor heterostructures.

Full Description

The book covers the structural and electronic properties of strained epitaxial layers, the thermodynamics and kinetics of layer growth, and the description of the major growth techniques metalorganic vapor phase epitaxy, molecular beam epitaxy and liquid phase epitaxy.

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