Ion Implantation and Synthesis of Materials

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Ion Implantation and Synthesis of Materials

Nastasi, Michael/ Mayer, James W.

ウェブストア価格 ¥23,849（本体¥21,681）
Springer（2010/02発売）
外貨定価 US$ 109.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 277 p.
言語 ENG
商品コード 9783642062599
DDC分類 530

Full Description

Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. This book presents the physics and materials science of ion implantation and ion beam modification of materials.