Nanofabrication : Principles, Capabilities and Limits （2ND）

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Nanofabrication : Principles, Capabilities and Limits （2ND）

Cui, Zheng

ウェブストア価格 ¥34,690（本体¥31,537）
Springer International Publishing AG（2018/06発売）
外貨定価 US$ 159.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 432 p.
商品コード 9783319818757

Full Description

This second edition of Nanofabrication is one of the most comprehensive introductions on nanofabrication technologies and processes. Also analyzed are the capabilities of each technology in making sub-100nm structures, and the limits of preventing a technology from going further down the dimensional scale.