Outlook and Challenges of Nano Devices, Sensors, and MEMS

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Outlook and Challenges of Nano Devices, Sensors, and MEMS

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 521 p.
  • 商品コード 9783319508221

Full Description

This book provides readers with an overview of the design, fabrication, simulation, and reliability of nanoscale semiconductor devices, MEMS, and sensors, as they serve for realizing the next-generation internet of things.

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