Chemistry of Atomic Layer Deposition (De Gruyter Textbook) （2021. VIII, 105 S. 5 b/w and 70 col. ill., 20 b/w tbl. 240 mm）

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Chemistry of Atomic Layer Deposition (De Gruyter Textbook) （2021. VIII, 105 S. 5 b/w and 70 col. ill., 20 b/w tbl. 240 mm）

Barry, Seá/n Thomas

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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 113 p.
商品コード 9783110712513

Full Description

This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.