CMOS Plasma and Process Damage

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CMOS Plasma and Process Damage

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  • 製本 Hardcover:ハードカバー版／ページ数 466 p.
  • 商品コード 9783031890284

Full Description

Readers will learn how plasma and process damage results from the high-energy processes that are used in chip manufacturing, causing harm to the chips, functional failure and reliability problems.

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