Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors

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Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors

Yang, Zhuoqing (EDT)

ウェブストア価格 ¥33,260（本体¥30,237）
Springer Nature Switzerland AG（2022/10発売）
外貨定価 UK£ 119.99
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製本 Paperback:紙装版/ペーパーバック版／ページ数 312 p.
商品コード 9783030797515

Full Description

This book begins by introducing new and unique fabrication, micromachining, and integration manufacturing methods for MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) devices, as well as novel nanomaterials for sensor fabrications.